等离子体是指一种电离气体，柔韧性 附着力好的固化剂它是电子、离子、原子、分子和自由基等粒子的聚集体。在清洗过程中，高能电子与反应性气体分子碰撞使其解离或电离，利用产生的各种粒子撞击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应，从而有效去除各种污染物。在许多应用中，诸如改进的表面润湿性和改进的薄膜附着力等特性
